ATTO10+1800手套箱一體鍍膜機

Atto10+1800手套箱是經(jīng)過(guò)驗證的一種手套箱蒸鍍一體機,堅固耐用的多功能設計標準方案。該系統可以手動(dòng)和自動(dòng)操作,具有廣泛的沉積儀器選配,包括:電子束蒸發(fā)器,射頻和直流濺射源,低溫有機蒸發(fā)器和金屬蒸發(fā)器。還有許多系統選項可用,如 石英晶體監測,高真空負載鎖和加熱,冷卻,旋轉或靜態(tài)樣品臺。本系統由真空鍍膜系統和Lab2000手套箱系統集成而成,手套箱是一種與大氣隔絕的密閉環(huán)境的箱體,各種裝配操作等工作能夠通過(guò)手套在箱體里面進(jìn)行,手套箱內部無(wú)水、無(wú)氧,只充滿(mǎn)了高純惰性氣體,實(shí)現鍍膜機和手套箱的無(wú)縫連接,解決鍍膜產(chǎn)品被水氧分子污染的問(wèn)題。



   
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ATTO10+1800手套箱一體鍍膜機

產(chǎn)品特點(diǎn)

既保證了高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,又在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。

該系統具有高真空壓力和抽空時(shí)間測試。

具有先進(jìn)編程能力的行業(yè)最佳軟件控制系統,系統的靈活性,

可以被配置為濺射系統,電子束系統,OLED系統,熱蒸發(fā)系統或這些過(guò)程的任何組合。

可以集成各種光學(xué)和光譜技術(shù),并將系統集成到需要惰性氣氛的研究手套箱中。

產(chǎn)品應用

半導體工業(yè)中MOCVD技術(shù)、微電子半導體、OLED/PLED開(kāi)發(fā)與生產(chǎn)、鋰離子電池開(kāi)發(fā)與生產(chǎn)、納米材料研究、催化劑研究、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的研發(fā)。



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